レチクル保管庫
R5-215
- 外形寸法
- W538×D330×H1270㎜
- フィルター
- クリーンモジュールユニット
- 風量
- 1.0/0.8㎥/min
- 本体材質
- アルミ複合板
- 本体枠材質
- アルミフレームアルマイト処理
- 扉面材質
- 帯電防止塩ビ透明板
- 扉
- マグネットパッキン式
- ケース受け
- ナイロン
- レチクルケース収納個数
- 5インチレチクルケース 15段×2列=30個収納
製品カテゴリを選んでください。
HEPAフィルターを通して異物を除去したクリーンな環境を作ることで、作業時のコンタミ防止や製品の品質管理が可能です。